Vastagság - maratott réteg - Encyclopedia nagy olaj- és gázipari, egy cikk, 1. oldal
Az ok az, nem véletlenszerű eltérések maratott rétegvastagság az átlagos vastagsága különböző lehet maratási sebesség, például, a szélei a minta és a közepén. [3]
A nagysága a érdesség határozza csak a vastagsága az eltávolított réteg és nem függ a hőmérséklet, sem a koncentráció alkálifém. Vékony film (5-20 mikron) nem tudja megszerezni a felület elegendően durva, mivel nyilvánvalóan nem tartalmaznak elegendő mennyiségű mikro-hibák. [4]
Hasonló, hogy a leírt eljárás meghatározására a vastagsága a maratott rétegek alkalmazásával végezhetjük polarizáló spektrométerrel. Mintákat készítünk ugyanúgy, mint az előző esetben. [5]
A mintadarabot egy ellenséges környezetben; a kölcsönhatás az üveg felületén merítve tűnik vonal lépésben, egyenlő a mélységben maratási a minta. A vastagsága a réteg maratott hogy IZK-46 interferométer vagy interferencia mikroszkópok AAIN-1 perc-45 0 legfeljebb 03 mikron. [6]
Mivel a maratási folyamatot nem lehet előzetesen kalibrálható, szükséges rétegvastagságban mérést. Értékelési maratott rétegvastagság hajtjuk végre az E-lipsometre oxid vastagságban egy különbség előtt és után maratással. Ellipszométer műszeres hiba kicsi (a sorrendben a 0002-100 nm vastagságban 0 05-3 nm), és gyakorlatilag nem befolyásolja a hibát kémiai-spektrális meghatározás. [7]
Annak megállapításához, a nagyságát hidegen edzett acél mintában termelt réteget vésett aqua regia (70% salétromsav és 30% -os sósavval), és nem vastartalmú fémek kausztikus alkáli. Amikor ez a vastagságát megmérjük, és a mikrokeménység a réteg maratott. Vérzés termék ig nem fog megjelenni stabil mérési Mikrokeménység. Szerint a vizsgálati eredmények függvényében. A ordináta tengely képviseli a mikrokeménység, és az abszcissza - a távolság a felszíni a mintába. Ez az ütemterv meghatározza a keményedés fokának és a mélység a felső rétegek a része. [8]
A maratási sebesség a szilícium-oxid határozza meg ezeket a etchants kölcsönhatásba sebessége HF az oxiddal, és nem a diffúziós a HF-nek a felületén. Természetesen, a maratási sebesség tulajdonságaitól függ az oxid marató anyagot, és a hőmérséklet, így a lineáris összefüggés van a maratott réteg vastagsága és a HF-koncentráció vagy a maratási idő, mint a szilícium, nem. Így, az arány a maratási oxidok nyert különböző technológiák, a keverék hidrogén-fluorid és a salétromsav (1: 100; 1: 250) térhet el több, mint 10-szer. [9]
maratási idő függvényében a film összetétele, valamint a kívánt vastagságú az eltávolított réteg de változhat 2 és 30 perc vagy több. Ellenőrző maratott rétegvastagságok a rétegek 2-10 mikron által hordozott súlyt. [11]
PET érdességi paraméter Ra (számtani átlag eltérése a mikroszkopikus szabálytalanságok a bázis vonal profil) először nő, megy keresztül egy maximumig nő, majd csökken, és lényegében változatlan marad, amíg a teljes film lebomlását. Maximális érdesség vastagságának felel meg az eltávolított réteg 25 - 30 mikron. [12]
Tarajos menet csavarozva a gépen UPW - 5x70 12 ütköztetve az erő a hidraulikus henger 98 kN percenként 1 fordulat mellett 20 percen hengerek 1. igénypont 1 2 mp. Ábra. 7.10 mutatja görbék változási axiális A2 és kerületi (Te hangsúlyozza a tálcákban a menet folytonos vonalak megfelelnek a gördülési a kitöltött hurok hengerek szaggatott - gördülő egy üres kontúrt ;. A - a vastagsága az eltávolított réteg látható, hogy az axiális nyomófeszültséget a menetes csavarokat az utóbbi esetben. január 6-szor nagyobb. Ezek a feszültségek jelentős mértékben hozzájárulnak az erejét a menetes csatlakozások, így a kontúr töltetlen. [14]
A vastagság a kapott réz-oxid réteg elérte 1,3 - February 10 cm-oxidok eltávolítottuk rétegekben merítjük a mintákat salétromsavban és öblítő vízzel .. Ismerve a különbség előtti tömeg és az oldódás után az oxidfilm rész és a lemez területet, könnyű volt, hogy meghatározzuk a vastagsága az eltávolított oxidréteg. [15]
Oldalak: 1